| 加工定制：否 | 品牌：Cygnus | 型号：π 2 -CYGNI |
| 用途：光刻及表面处理 | 订货号：π 2 -CYGNI |
美国实验室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系统
简述：使用新型的172nm 的波长。不需要传统的光刻胶，对几乎任何的有机聚合物材料都可以光刻。不需要传统的涂胶、烘烤、曝光、显影、清洗等的流程和时间。高分辨率、高强度、高效率、低成本。在实验室就可以实现光刻，而无需到半导体工厂，使用大型和昂贵的刻蚀机。操作简单，几乎无需培训。
美国实验室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系统特点：
?***紫外波长：172 nm
?专利光源技术：平面微腔阵列发光
?同类的输出强度: >10mW/cm2
?无需光刻胶，可对几乎所有有机聚合物直接曝光
?无需超净间，无需预热，无需冷却，无需复杂培训，几乎"零"维护
?杰出的光束均匀度：可用光圈的3％
?寿命长：3000小时曝光，曝光高达60,000次(3分钟/次), 使用可达10年
?绿色技术：无汞等有毒易燃气体和物质； 高电-光转换率，节能省电；
?小巧，方便，耐用高功率平面真空-紫外线在光处理中展现了新的可能性
高功率平面真空-紫外线在光处理中展现新的可能性
革命性的采用全新的灯泡，具有高功率，***均匀性和多功能性，效***并且设计紧凑，采用模块化形式！ 在172 nm创造性的引入π2 -CYGNI系列真空紫外线处理系统。
172纳米 全新光处理体系
传统172 nm光源的低输出功率阻碍了该波长在研究和生产中的广泛应用。 π2-CYGNI 克服了这一障碍，并展示了172 nm的真正实力- 全新化学驱动，反应方式和处理技术。 紫外线不仅仅用于光刻和固化！
全新功率驱动
紫外线弧光灯能提供高平均功率， 准分子紫外线源提供高光子通量。 π2-CYGNI 提供高平均功率和高光子通量- 无需有源或外部冷却。 把高功率和高光子通量这种独特组合，封装在手掌大的盒子中，实现其他光源无法完成的大面积反应和处理。
全新弧光技术
每套 π2-CYGNI系统的核心是它超薄的（< 4 mm）平面微腔放电灯。 与传统的弧光放电灯相比，这种广域照射产生了***的均匀性，同时又消除了对复杂聚光，准直和均化等光学器件的要求。
绿色环保的紫外线(UV)
在π2-CYGNI系统之前，产生紫外线通常意味着产生有毒物质，低转换率和高设备成本。 π2-CYGNI 通过环保且节能的解决方案突破这些障碍。 π2-CYGNI 的制造和使用过程不使用有毒材料，在生产中使用π-CYGNI 可以减少化学材料和水的消耗。 ***降低使用成本，仅是使用其他172 nm光源成本的一小部分。
美国实验室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系统参数：
